＜EXR-1200FMUV＞全自動UV照射機
特徴
- 300mmリングフレーム搬送対応可能なダイシングテープ用UV照射機です。
- 8インチ（オプション仕様）12インチウエハー（標準仕様）、UV照射対応可能。
- UV照射時のパラメーターは全てレシピにてコントロール可能です。
- 詳細については弊社担当者までお問い合わせください。
仕様
| Power | AC200-240V, Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 6KVA |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5-0.6 MPa(Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650-750mmHg(Min Flow Rate:60NL/min) |
| Exhaust Duct Capacity | 【Normal Air】5.0m3/min,40mmH20 (100mm diameter SUS Flange duct connection) |
装置配置
| Dimension(WxDxHmm) | 1610x2000x2100 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 1200kg |
