＜EXM-1200X＞300mm 全自動ウエハーテープマウンター
特徴
- 300mm形成済ウエハーマルチプロセス対応可能テープマウンター装置（オプション仕様/8インチ）
- マウントテープはロールテープ（標準仕様）とPre-cutテープ（オプション仕様）にて対応。
- ウエハーをフレームに貼り付ける際のパラメーターは全てレシピにてコントロール可能。
- 基本対応、極薄ウエハーや反りの大きいウエハーも搬送可能。
- インラインにてLED UV照射、保護テープ剥離も可能（オプション仕様）
- 詳細については弊社担当者までお問い合わせください。
仕様
| Power | AC200-240V, Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 6KVA |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5 – 0.6 MPa( Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650-750mmHg(Min Flow Rate:60NL/min) |
| Exhaust Duct Capacity | 【Normal Air】5.0m3/min, 40mmH20 (100mm diameter SUS Flange duct connection) |
装置配置
| Dimension(WxDxHmm) | 2700x2620x2250 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 2000kg |
＜CXM-800/1200＞300mm 全自動ウエハーマウンター
特徴
- 300mm形成済ウエハー専用テープマウンター装置。（4,5,6,8,12インチ可能）
- 極薄ウエハー、反りの大きいウエハーにも対応できます。
- ロールカットテープ（標準仕様）、プリカットテープ（オプション仕様）にも対応。
- その他オプション（バーコードプリント・リーダー、OCRなど）も揃えております。
- 詳細については弊社担当者までお問い合わせください。
仕様
| Power | AC200-240V, Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 6KVA |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5-0.6 MPa(Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650-750mmHg(Min Flow Rate:60NL/min) |
装置配置
| Dimension(WxDxHmm) | 2000x2000x2200 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 1600Kg |
