＜EXR2-1200X＞300mm全自動テープリムーバー
特徴
- 300mmウエハー専用テープリムーバー装置です。（オプション仕様/8インチ）
- 1キャリア方式または2キャリア方式に対応しています。
- 剥離時のパラメーターは全てレシピにてコントロール可能です。
- LED UV照射による剥離方式もございます。（オプション仕様）
- 極薄対応のキャリアとウエハーを使用することにより極薄ウエハーにも対応できます。（オプション仕様）
- 剥離方式/粘着テープ（標準仕様）・ヒートシール（オプション仕様）にも対応可能です。
- フィンガー対応もあります。（オプション仕様）
- 詳細については弊社担当者までお問い合わせください。
仕様
| Power | AC200-240V, Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 6KVA |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5 – 0.6 MPa( Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650-750mmHg(Min Flow Rate:60NL/min) |
| Exhaust Duct Capacity | 【Normal Air】5.0m3/min,40mmH20 （100mm diameter SUS Flange duct connection） |
装置配置
| Dimension(WxDxHmm) | 1600x1400x2100 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 800Kg |
＜DXR2-800X＞200mm全自動テープリムーバー
特徴
- 200mmウエハーまで扱うことが出来るテープリムーバー装置です。（標準仕様/4,5,6インチ、オプション仕様/8インチ）
- 剥離時パラメーターは全てレシピにてコントロール可能です。
- 極薄対応のキャリアとウエハーを使用することにより極薄ウエハーにも対応できます。（オプション仕様）
- フィンガー対応もございます。（オプション仕様）
- 詳細については弊社担当者までお問い合わせください。
仕様
| Power | AC200-240V, Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 6KVA |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5 – 0.6 MPa( Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650-750mmHg(Min Flow Rate:60NL/min) |
| Exhaust Duct Capacity | 【Normal Air】5.0m3/min,40mmH20 (100mm diameter SUS Flange duct connection) |
装置配置
| Dimension(WxDxHmm) | 1350x1350x2230 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 710Kg |
