＜VXL-1200X＞300mm全自動バキュームラミネーター
特徴
- 300mmウエハー専用バキュームラミネーター装置です。（オプション仕様/8インチ）
- 1キャリア方式(F1)または2キャリア方式(F2)に対応しています。
- 2種類のカット方式(Vノッチカット可能)-デジタルカッターブレード方式、クラス4・CO2レーザーカット方式
- 貼り付けパラメーターは全てレシピにてコントロール可能です。
最高到達真空度は100paまで設定可能です。 - E84OHT.AGV対応（オプション仕様）
- 薄いウエハー、各種形成後のウエハーも対応可能です。
- フィンガー対応もございます。（オプション仕様）
- 詳細については弊社担当者までお問い合わせください。
仕様
| Power | AC200-240V, Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 6KVA |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5 – 0.6 MPa( Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650-750mmHg(Min Flow Rate:60NL/min) |
| Exhaust Duct Capacity | 【Normal Air】5.0m3/min,40mmH20 (100mm diameter SUS Flange duct connection) 【Contaminate Air】5.0m3/min,40mmH100 (100mm diameter SUS Flange duct connection)(レーザー仕様のみ) |
装置配置
| Dimension(WxDxHmm) | 1500x2700x2350 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 1500Kg |
＜EXL2-1200X＞300mm全自動ウエハーテープラミネーター
特徴
- 300mmウエハー専用テープラミネーター装置です。（オプション仕様/8インチ）
- 1カセット方式または2カセット方式に対応しています。
- 2種類のカット方式(Vノッチカット可能)-デジタルカッターブレード方式、クラス4・CO2レーザー方式（オプション仕様/Pre-cut）
- 貼り付けパラメーターは全てレシピにてコントロール可能です。
- E84OHT.AGV対応（オプション仕様）
- 薄いウエハー、各種形成後のウエハーも対応可能です。
- フィンガー対応もございます。（オプション仕様）
- 詳細については弊社担当者までお問い合わせください。
仕様
| Power | AC200-240V, Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 6KVA |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5 – 0.6 MPa( Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650 – 750mmHg(Min Flow Rate:60NL/min) |
| Exhaust Duct Capacity | 【Normal Air】5.0m3/min,40mmH20 (100mm diameter SUS Flange duct connection) 【Contaminate Air】5.0m3/min,40mmH100 (100mm diameter SUS Flange duct connection) (レーザー仕様のみ) |
装置配置
| Dimension(WxDxHmm) | 1450x1800x2100 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 1250Kg |
＜DXL2-800X＞200mm全自動ウエハーテープラミネーター
特徴
- 200mmウエハーまで扱うことが出来るテープラミネーター装置です。（オプション仕様/4,5,6インチ）
- 2種類のカット方式（Vノッチカット可能）
－デジタルカッターブレード方式、クラス4・CO2レーザー方式 - 貼り付けパラメーターは全てレシピにてコントロール可能です。
- 薄いウエハー、各種形成後のウエハーも対応可能です。
- フィンガー対応もございます。（オプション仕様）
- 詳細については弊社担当者までお問い合わせください。
仕様
| Power | AC200-240V, Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 6KVA |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5 – 0.6 MPa( Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650-750mmHg(Min Flow Rate:60NL/min) |
| Exhaust Duct Capacity | 【Normal Air】5.0m3/min,40mmH20 (100mm diameter SUS Flange duct connection) 【Contaminate Air】5.0m3/min,40mmH100 (100mm diameter SUS Flange duct connection) (レーザー仕様のみ) |
装置配置
| Dimension(WxDxHmm) | 1250x1960x2230 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 750kg |
